文章来源：www.ytlhqz.net  分类：气垫搬运车   作者：龙海起重

【使用背景】洁净室半导体设备搬运就位

【半导体设备搬运就位所遇到的问题】

1、洁净室环境清洁度要求高：防尘、防静电、不准留下铁屑

2、洁净室内铺有环氧地坪，不准划伤地面

3、搬运过程中需注意设备的平稳性

4、需将半导体设备就位至指定位置，此过程需定位准

【半导体设备搬运就位使用工具】

此次洁净室半导体设备搬运选用10吨气垫搬运车，并选用G-60C型无尘室用爪式千斤顶作为辅助（用于一开始的设备顶升）。

10吨气垫搬运车

G-60C型无尘爪式千斤顶

【半导体设备搬运选用10吨气垫搬运车的理由】

1、10吨气垫搬运车可悬浮地面搬运，与地面之间的摩擦几乎接近于0，对地面压力小，丝毫不会划伤环氧地坪

2、10吨气垫搬运车搬运时运行阻力小，具备优异的防震性能，符合搬运平稳无晃动的要求

3、气垫搬运车可360度原地旋转，无需转弯半径，可实现毫米级就位

4、10吨气垫搬运车的4台气垫模块均为铝制，不掉漆，且采用气源驱动，环保，符合洁净室对与环境清洁度的要求；同时选用的顶升工具G-60C无尘爪式千斤顶表面不涂有油漆，不存在普通千斤顶掉漆的情况，符合洁净室作业要求。

【客户反馈】

气垫搬运车的使用对于洁净室内半导体设备搬运中各项要求均已满足，解决了此次的搬运工作，客户对于气垫搬运车的应用非常满意。

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